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| 研究生： |
施修正 Hsiou-Jeng Shy |
|---|---|
| 論文名稱： |
利用濺鍍法以鎳酸鑭為電極製作動態記憶體之鋯鈦酸鋇薄膜的研究 The Study of Ba(Zr,Ti)O3 Thin Film Deposited on LaNiO3 Electrode by rf Magnetron Sputtering for DRAMs Applications |
| 指導教授： |
吳泰伯
Tai-Bor Wu |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 1999 |
| 畢業學年度： | 87 |
| 語文別： | 中文 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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