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| 研究生： |
許嘉倫 Chia-Lung Hsu |
|---|---|
| 論文名稱： |
低壓化學氣相沈積法配合快速熱處理對閘極氮氧化層電特性之影響 Electrical Properties of Gate N/O layer formed by LPCVD with N2O RTP |
| 指導教授： |
王 天 戈 博士
Tien-Ko Wang 張廖貴術 博士 Kuei-Shu Chang-Liao |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2002 |
| 畢業學年度： | 90 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 103 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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