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研究生： 李淑伶
論文名稱： 動態批次回饋系統的Quasi MMSE控制器之績效分析
Quasi MMSE controller for dynamic run-to-run system
指導教授： 曾勝滄
口試委員:
學位類別： 碩士
Master
系所名稱： 理學院 - 統計學研究所
Institute of Statistics
論文出版年： 2010
畢業學年度： 98
語文別： 中文
論文頁數： 49
中文關鍵詞： 批次控制 、動態系統 、MMSE控制器
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    • 批次控制是針對IC製程特殊的生產型態所發展出來之製程回饋控制工具。由於IC製程的投入變數可調整範圍通常很窄，因此傳統上皆假設製程之投入-產出模型為一靜態線性模型。然而，實際製程之投入-產出大多為動態系統，若以常用的Single EWMA控制器來調整生產製程，在採用合適折扣因子下雖可確保製程收斂，但將導致製程變異放大。針對此缺點，在一階動態系統下，本論文提出Quasi MMSE (Minimum Mean Square Error) 控制器，並探討此Quasi MMSE控制器的穩定性條件及如何決定此控制器之最適折扣因子。最後並探討此控制器與傳統Single EWMA控制器在執行效能上的優劣分析；文中發現模型中的短尾動態參數與斜率參數之比值小於0.5，且模型中的參數沒有嚴重高估的情況 (亦即相對估計誤差低於30%) 下，Quasi MMSE控制器的TMSE (Total Mean Square Error) 表現皆優於Single EWMA控制器。此外，由模擬結果可發現，當動態系統中的動態參數顯著大時，製程TMSE的改善幅度更加顯著。

    目錄 第一章 簡介...............................................................................1 1.1　前言...........................................................................................................1 1.2　批次控制簡介...........................................................................................2 1.3　研究動機...................................................................................................4 1.4　研究架構...................................................................................................5 第二章 文獻回顧與問題描述...................................................6 2.1　動態模型-線性轉換函數 (Linear Transfer Function).............................6 2.2　Single EWMA控制器在一階動態模型下之探討...................................8 2.3　問題描述...................................................................................................9 第三章 Quasi MMSE控制器之分析.....................................11 3.1　Quasi MMSE控制器的建構..................................................................11 3.2　Quasi MMSE控制器的製程產出及其穩定條件..................................12 3.3　最佳折扣因子的挑選.............................................................................18 3.4 Quasi MMSE控制器與Single EWMA控制器的績效比較.................21 第四章 動態參數的估計.........................................................30 4.1　開迴路系統下的動態參數估計.............................................................30 4.2　閉迴路系統下的動態參數估計.............................................................36 第五章 結論與後續研究.........................................................40 附錄...........................................................................................42 參考文獻...................................................................................49

    參考文獻
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