紫外光臭氧處理對氧化銦錫與有機半導體接面電性之影響

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研究生：	官嘉玲 C. L. Kuan
論文名稱：	紫外光臭氧處理對氧化銦錫與有機半導體接面電性之影響 The effect of　electric property of contact bteween ITO and HIL by UV-ozone treatment
指導教授：	黃倉秀 T. S. Huang
口試委員:
學位類別：	碩士 Master
系所名稱：	工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering
論文出版年：	2003
畢業學年度：	91
語文別：	中文
論文頁數：	80
中文關鍵詞：	氧化銦錫、紫外光臭氧、電洞注入層、遷移長度量測理論
外文關鍵詞：	ITO, UV-ozone, Hole Injection Layer, Transfer Length Method
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本論文主要探討氧化銦錫（ITO）導電玻璃經過紫外光臭氧（UV-ozone）照射後，對ITO與不同電洞注入層間接面電性的影響。電洞注入層薄膜為PEDOT CH8000、PEDOT AI4083、PAni及CuPc等四種材料。比較 Glass/ITO/電洞注入層的可見光穿透率；ITO/電洞注入層在大氣中的穩定性；UV-ozone照射時間對總電阻值的影響，以及藉由遷移長度測量法(TLM)分析各種電洞注入層的片電阻值以及其與ITO接面的特徵接面電阻值的變化。
研究結果顯示，在可見光範圍內，平均光穿透率以PEDOT CH8000（88%）最高，依次為PEDOT AI4083(83%)、CuPc(77%)、PAni(41%)。四種電洞注入層在大氣中的穩定性，以ITO/PEDOT AI4083最佳，依序為ITO/CuPc、ITO/PAni，以ITO/PEDOT CH8000的穩定性最差。ITO/電洞注入層的總電阻值會隨著UV-ozone照射時間的增長而降低，和電洞注入層本身在大氣中的穩定性有關。ITO/PEDOT CH8000、ITO/PAni及ITO/CuPc界面並不是良好的歐姆接面，只有ITO/PEDOT AI4083具有歐姆接面特性。電洞注入層薄膜的片電阻值以CuPc (1×109 Ω/sq.)為最大，依序為PEDOT CH8000 (5×108 Ω/sq.)、PEDOT AI4083 (3×106 Ω/sq.)、PAni (2×105 Ω/sq.)，片電阻值不隨UV-ozone照射的處理而改變。特徵接面電阻值以ITO/PEDOT CH8000為最大 (1.8×10-1Ω-m2)，依次為ITO/CuPc (1.2×10-1Ω-m2)、ITO/PEDOT AI4083 (1.1×10-4Ω-m2)，以ITO/PAni (3.1×10-5Ω-m2)的特徵接面電阻值最小。特徵接面電阻值隨UV-ozone照射時間增長而降低，其下降在UV-ozone照射30分鐘後趨於平緩。

目錄
摘要..................................................Ⅰ

致謝...................................................Ⅱ

目錄...................................................Ⅲ

表格目錄...............................................Ⅳ

圖片目錄...............................................Ⅴ

第一章  緒論............................................1

第二章  實驗方法與步驟..................................9

第三章  結果與討論.....................................14

1. 可見光穿透率分析....................................14

2. 電洞注入層與ITO接面電流-電壓特性....................15

3. 放置時間對總電阻值的影響............................15

4.  UV-ozone 照射時間對總電阻值的影響..................17

5. 電洞注入層片電阻及特徵接面電阻分析..................18

第四章  結論...........................................20

參考文獻..............................................22

表格.................................................表1

圖表...........................................圖1 ~圖42

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