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| 研究生： |
陳昇祐 chen, Sheng-Yow |
|---|---|
| 論文名稱： |
金屬化學氣相沈積與低介電常數材料HSQ在積體電路上之應用研究 Study of Metal CVD and Low-Dielectric Constant Material Hydrogen Silsesquioxane(HSQ) for ULSI Applications |
| 指導教授： |
葉鳳生
Yeh, Fon-Shan 張鼎張 Chang, Ting-Chang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電機工程學系 Department of Electrical Engineering |
| 畢業學年度： | 86 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 41 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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