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| 研究生： |
陳偉華 Chen, Wei-Hua |
|---|---|
| 論文名稱： |
前瞻CMOS後端製程之MIM 電容器之可靠度研究 Reliability Study of Stacked high-κ Metal-Insulator-Metal Capacitors in Advanced CMOS BEOL Process |
| 指導教授： |
金雅琴
King, Ya-Chin |
| 口試委員: |
林崇榮
Lin, Chrong-Jung 施教仁 Shih, Jiaw-Ren |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電子工程研究所 Institute of Electronics Engineering |
| 論文出版年： | 2022 |
| 畢業學年度： | 111 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 68 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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