簡易檢索 / 詳目顯示
| 研究生： |
羅偉唐 Lo, Wei-Tang |
|---|---|
| 論文名稱： |
三氯氧磷退火處理原子層沉積二氧化矽於碳化矽金氧半場效電晶體之可靠度研究 Study on the Reliability of POCl3 Annealed ALD SiO2 for 4H-SiC MOSFETs |
| 指導教授： |
黃智方
Huang, Chih-Fang |
| 口試委員: |
魏拯華
李坤彥 |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電子工程研究所 Institute of Electronics Engineering |
| 論文出版年： | 2014 |
| 畢業學年度： | 102 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 57 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
| 分享至: |
| 查詢本校圖書館目錄 查詢臺灣博碩士論文知識加值系統 勘誤回報 |
全文公開日期 本全文未授權公開 (校內網路)全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)