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| 研究生： |
林于尹 Yu-Yin Lin |
|---|---|
| 論文名稱： |
探討在感應耦合電漿系統中之氧氣電漿的特性 Study of Oxygen Plasma Characteristics in the Inductively Coupled Plasma System |
| 指導教授： |
黃振昌
J. Hwang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2000 |
| 畢業學年度： | 88 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 81 |
| 相關次數： | 點閱：63 下載：0 |
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