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研究生: 吳彭弘
Wu, Perng-Horng
論文名稱: 掃瞄穿隧電子顯微術對化學氣相沉積磊晶法在Si(100)表面上成長Si薄膜現象的研究
Real-time Scanning Tunneling Microscopy Study of Si Growth on Si(100) by Chemical Vapor Deposition from Disilane
指導教授: 林登松
Lin, Deng-Sung
口試委員:
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 理學院 - 物理學系
Department of Physics
畢業學年度: 85
語文別: 中文
論文頁數: 81
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