研究生: |
吳彭弘 Wu, Perng-Horng |
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論文名稱: |
掃瞄穿隧電子顯微術對化學氣相沉積磊晶法在Si(100)表面上成長Si薄膜現象的研究 Real-time Scanning Tunneling Microscopy Study of Si Growth on Si(100) by Chemical Vapor Deposition from Disilane |
指導教授: |
林登松
Lin, Deng-Sung |
口試委員: | |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
理學院 - 物理學系 Department of Physics |
畢業學年度: | 85 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 81 |
相關次數: | 點閱:2 下載:0 |
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