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| 研究生： |
黃貴中 Huang，Guay Jong |
|---|---|
| 論文名稱： |
矽晶上鈦、鈷、鎳矽化物薄膜之氧化動力學及熱安定性之研究 Investigations on the Oxidation Kinetics and Thermal Stability of C54-TiSi2，NiSi2，and CoSi2 on Si Substrate |
| 指導教授： |
陳力俊
Chen，Lih Juann |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 1994 |
| 畢業學年度： | 82 |
| 語文別： | 英文 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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