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| 研究生： |
李雅惠 Y.H.Lee |
|---|---|
| 論文名稱： |
非揮發性鐵電記憶體應用之Pb(Zr,Ti)O3薄膜特性與乾蝕刻(RIE)之研究 |
| 指導教授： |
吳泰伯
T.B.Wu 江明崇 M. C. Chiang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 畢業學年度： | 87 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 126 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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