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| 研究生： |
謝榮彰 Shieh, Rong Jang |
|---|---|
| 論文名稱： |
以單一固態前驅物生長氮化鈦薄膜及其熱力學分析之研究 Study of using single solid precursor to deposited TiN film and thermodynamic analysis |
| 指導教授： |
周更生
Kan Sen Chou |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 化學工程學系 Department of Chemical Engineering |
| 畢業學年度： | 85 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 94 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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