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| 研究生： |
沈佩誼 Pei-Yi Shen |
|---|---|
| 論文名稱： |
聚甲基丙烯酸酯系列之電子束阻劑的合成與評估 Synthesis and Evaluation of Methyl Methacrylate Terpolymers as Electron Beam Resists |
| 指導教授： |
李育德 博士
Dr. Yu-Der Lee 邱燦賓 博士 Dr. Tsann-Bim Chiou |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 化學工程學系 Department of Chemical Engineering |
| 論文出版年： | 2000 |
| 畢業學年度： | 88 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 89 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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