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| 研究生： |
温榮弘 Wen, Jung-Hung |
|---|---|
| 論文名稱： |
陣列式與全對稱純金屬MEMS加速度計之設計與實現 Design and Implementation of Array Type and Fully Symmetric Pure Metal MEMS Accelerometer |
| 指導教授： |
方維倫
Fang, Wei-leun |
| 口試委員: |
鄒慶福
Tsou, Ching-Fu 李昇憲 Li, Sheng-Shian 謝哲偉 Hsieh, Jer-Wei 曾聖翔 Tseng, Sheng-Shiang 孫志銘 Sun, Chih-Ming |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 奈米工程與微系統研究所 Institute of NanoEngineering and MicroSystems |
| 論文出版年： | 2020 |
| 畢業學年度： | 109 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 130 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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