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研究生： 簡士傑
Jian, Shih-Jie
論文名稱： 線型大氣壓低溫電漿之研究
Research of Atmospheric Pressure Line-shaped Cold Plasma
指導教授： 寇崇善
Kou, Chwung-Shan
口試委員:
學位類別： 碩士
Master
系所名稱： 理學院 - 物理學系
Department of Physics
論文出版年： 2009
畢業學年度： 97
語文別： 中文
論文頁數： 73
中文關鍵詞： HMDSO 、電漿
外文關鍵詞： HMDSO, plasma
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    • 目前電漿的鍍膜製程仍是在真空的環境下進行，在真空系統下作業需耗費很長的時間才能做完一個流程，且製作腔體需要很高的成本，因此本實驗主要的研究方向是利用介質屏障放電(dielectric barrier discharge，DBD)進行大氣輝光放電，以氦氣做為電漿源，使有機矽化合物－六甲基矽氧烷(Hexamethyldisiloxane，HMDSO)解離後與基材鍵結形成矽氧膜，同時可藉由控制碳氫基團(C-Hx)的量，使膜的性質為有機性或無機性、疏水性或親水性。本研究並探討以此膜做為液晶配向膜的可行性。藉由控制膜的表面能大小去控制液晶的預傾角大小，實驗結果顯示HMDSO膜配合刷磨式配向技術可達到水平配向效果。

    第一章　簡介...............................................1 1.1 大氣電漿系統...........................................1 1.2 配向簡介...............................................3 1.3 動機...................................................4 第二章　文獻回顧...........................................6 2.1 DBD的分析與種類........................................6 2.2 配向技術...............................................6 第三章　實驗儀器..........................................15 3.1 實驗系統架設..........................................15 3.2 化學分析電子能譜儀....................................15 3.3 傅立葉紅外線光譜儀....................................16 3.4 原子力顯微鏡..........................................17 3.5 接觸角量測儀..........................................18 3.6 鉛筆硬度測試機........................................19 3.7 橢圓偏光儀............................................20 3.8 實驗操作流程..........................................21 第四章　實驗原理..........................................29 4.1 DBD放電原理...........................................29 4.2 表面能分析理論........................................32 4.3 預傾角................................................34 第五章　數據分析與討論....................................40 5.1 表面能分析............................................40 5.2 紅外線光譜分析........................................47 5.3 化學定量分析..........................................51 5.4 表面形貌起伏..........................................59 5.5 膜厚分析..............................................63 5.6 硬度分析..............................................65 5.7 預傾角量測............................................66 第六章　實驗結果..........................................68 參考文獻..................................................71

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