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| 研究生： |
賴志明 Benjamin Chihming Lai |
|---|---|
| 論文名稱： |
應用於金氧半電晶體閘極氧化層的氧化鉭薄膜電性之研究 The Electrical Properties of Tantalum Oxide (Ta2O5) Thin Films for Gate Dielectric Applications in Metal-Oxide-Semiconductor Field Effect Transistors |
| 指導教授： |
李雅明
Joseph Ya-min Lee |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電子工程研究所 Institute of Electronics Engineering |
| 論文出版年： | 2001 |
| 畢業學年度： | 89 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 95頁 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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