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研究生: 韓侑宏
Han, You-Hong
論文名稱: 藉由第一原理分析CrSi2(核)/SiO2(殼)奈米電纜異常的鐵磁性質與氧化鎳薄膜成長研究
First-principles Analyses of Unusual Ferromagnetism Observed in CrSi2 (Core)/SiO2 (Shell) Nanocables and The Growth of Nickel Oxide Films
指導教授: 歐陽浩
Ouyang, Hao
口試委員:
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 工學院 - 材料科學工程學系
Materials Science and Engineering
論文出版年: 2010
畢業學年度: 98
語文別: 中文
論文頁數: 174
中文關鍵詞: 第一原理奈米電纜CrSi2鐵磁性質化學氣相沈積法
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  • 第一部份
    本實驗藉由常壓化學氣相沈積法,在沒有金屬催化劑的情況下,製出高密度CrSi2(核)/SiO2(殼)奈米電纜,發現有異常的鐵磁性質,這是有別於它們在塊材時為反磁性材料的。內部CrSi2奈米線為C40型態結構(空間族為P6222),其沿著[0001]方向成長,外側為非晶的SiO2層覆蓋。因此我們藉由第一原理摸擬近似真實奈米電纜的表面結構,結果發現靠近表面的Cr原子有約2μB的磁化量,直到深度0.5nm後內部Cr原子磁性就跟塊材時一樣(0μB)。藉由進一步的近似,並考慮表面粗糙度造成的表面積增加,計算結果得出和實驗結果相同數量級的磁化量。因此這樣的奈米電纜結構,主要是因為CrSi2表面積的增加,表面的Cr原子未完全配位鍵結及鍵結的扭曲,使得Cr原子3d軌域的自旋向上和自旋向下的電子數不同,而有鐵磁性材料的性質。這些結果顯示了一個新的方式用來調整核/殼奈米電纜的磁性質。

    第二部份
    本實驗利用雙離子束濺鍍系統(dual ion beam deposition system,DIBD)鍍膜底層反鐵磁NiO,雙離子束包含直流(direct current,DC)離子源與輔鍍的射頻(radio frequency,RF)離子源。改變輔鍍的射頻離子源的轟擊電壓(VRF=50、75、100、150和200V),以及射頻離子槍中氧氣的流量(O2流量=0.5、0.8和1sccm,固定氬氣流量2.5sccm),來探討這些改變對NiO薄膜成長的影響。原子力顯微鏡分析NiO薄膜其表面粗糙度,並藉由低掠角X光繞射分析NiO薄膜成長的擇優成長取向,以了解底層NiO薄膜的成長是否影響後續Co/Pt的成長和磁性質(垂直異向性及垂直交換偏壓)。而Co/Pt多層膜的結構是以電子束蒸鍍系統來成長,不過由於目前機台組裝與真空度還有一些問題還沒解決,這部份還有待後續的研究。


    Part I
    Unusual ferromagnetism has been observed in high density free-standing CrSi2(core)/SiO2(shell) nanocables synthesized by atmosphere pressure chemical vapor deposition method without using any metal catalyst, which is in evident contrast to diamagnetic properties of both CrSi2 and SiO2 in bulk. The hexagonal CrSi2 C40 type (P6222) nanowires grows along [0001] direction and is covered with amorphous SiO2, as characterized by high resolution transmission electron microscopy (HRTEM). The supercell used in the first-principles calculation, which include the interface between CrSi2 and amorphous SiO2, was constructed from analyses of HRTEM images. The simulations results indicate that Cr atoms around the interface with an anomalously high magnetization up to about 2 μB/atom, due to distorted /dangling bonds, and are consistent with the magnetic measurements by also considering the roughness and distribution of oxygen around the interface. These results point towards a new way to tune magnetism in core/shell nanowires.

    Part II
    The underlying antiferromagnetic NiO was prepared using a dual ion beam deposition system. Dual ion beam deposition system contains DC ion source and RF ion source (assisted beam). Change the RF ion source bombardment voltage (VRF=50、75、100、150 and 200V) and the flow rate of oxygen (O2 flow rate=0.5、0.8 and 1 sccm and fixed Ar flow rate =2.5 sccm), to discuss these changes on the growth of NiO films. The surface roughness of NiO films were analyzed by atomic force microscopy, and the crystal structure of the NiO films were characterized with X-ray diffraction at a grazing angle of one degree. To understand whether the underlying growth of NiO films will influence the growth of Co/Pt multilayers and magnetic properties (perpendicular anisotropy and perpendicular exchange bias). The Co/Pt multilayers will prepare by electron beam evaporation system, however, the system has some problems not yet resolved, so these part need further study in the future.

    第一部份 藉由第一原理分析CrSi2(核)/SiO2(殼)奈米電纜異常的鐵磁性質………………………………………………………………………….1 第一部份 第一章 緒論………………………………………………………………2 一、 金屬矽化物…………………………………………………………………..2 二、 金屬矽化物奈米結構的發展………………………………………………..3 三、 CrSi2的性質與應用………………………………………………………….4 四、 第一原理模擬………………………………………………………………..5 五、 研究動機與目的……………………………………………………………..5 第一部份 第二章 文獻回顧與理論基礎……………………………………………7 一、 奈米線的製備與生長機制…………………………………………………..7 (一) 氣-液-固成長……………………………………………………………7 (二) 氧化物輔助成長………………………………………………………...9 (三) 氣-固成長………………………………………………………………10 (四) 溶液-液-固成長……………………………………………………….11 (五) 固-液-固成長…………………………………………………………..12 二、 金屬矽化物表層生成SiO2的探討…………………………………………12 三、 奈米結構的異常磁性質……………………………………………………13 (一) 奈米金和銀顆粒的鐵磁性質…………………………………………...13 (二) 反鐵磁奈米結構的鐵磁性質…………………………………………...15 (三) CoSi奈米線的鐵磁性質………………………………………………..17 四、 磁性半導體的應用…………………………………………………………19 (一) 自旋發光二極體………………………………………………………..19 (二) 自旋場效電晶體………………………………………………………..20 第一部份 第三章 實驗方法………………………………………………………..23 一、 實驗步驟……………………………………………………………………23 二、 奈米電纜的成長……………………………………………………………23 三、 掃描式電子顯微鏡…………………………………………………………24 四、 高解析穿透式電子顯微鏡原理……………………………………………25 (一) 高解析電子顯微技術………………………………………………….26 (二) 奈米微區EDS技術……………………………………………………..28 (三) 電子能量過濾電鏡技術………………………………………………..28 五、 X光繞射儀………………………………………………………………….29 六、 超導量子干涉儀……………………………………………………………30 七、 第一原理計算………………………………………………………………32 第一部份 第四章 結果與討論……………………………………………………..34 一、 掃描式電子顯微鏡分析……………………………………………………34 二、 高解析穿透式電子顯微鏡分析……………………………………………35 三、 磁性質分析…………………………………………………………………37 四、 相生成的探討………………………………………………………………39 五、 第一原理摸擬………………………………………………………………44 (一) CrSi2塊材結構建立與摸擬運算……………………………………….44 (二) [100]方向成長的CrSi2結構建立………………………………………46 (三) 非晶的SiO2結構建立…………………………………………………..48 (四) CrSi2與非晶的SiO2接合後運算……………………………………….49 六、近似與計算…………………………………………………………………..53 七、氧原子分佈的影響…………………………………………………………..55 第一部份 第五章 結論……………………………………………………………..59 第二部份 氧化鎳薄膜成長研究…………………...61 第二部份 第一章 緒論……………………………………………………………..62 一、 紀錄媒體的發展趨勢....................................................................................62 二、 從水平到垂直紀錄的演進…………………………………………………63 三、 Co/Pt多層膜的應用………………………………………………………..65 四、 研究動機與目的……………………………………………………………67 第二部份 第二章 文獻回顧與理論基礎…………………………………………..69 一、 磁性物質的種類……………………………………………………………69 (一) 鐵磁性物質……………………………………………………………69 (二) 反鐵磁性物質…………………………………………………………69 (三) 順磁性物質……………………………………………………………69 (四) 反磁性物質……………………………………………………………70 (五) 亞鐵磁性物質…………………………………………………………70 二、 磁異向性……………………………………………………………………71 (一) 磁晶異向性……………………………………………………………71 (二) 形狀異向性……………………………………………………………73 (三) 磁彈性異向性........................................................................................74 (四) 引導磁異向性........................................................................................75 三、 垂直異向性…………………………………………………………………76 四、 交換偏壓……………………………………………………………………77 五、 交換偏壓理論基礎…………………………………………………………79 (一) 理想化界面模型……………………………………………………...80 (二) 界面間AFM磁區壁模型…………………………………………….81 (三) 混亂場模型…………………………………………………………...83 (四) 自旋翻轉垂直的界面間耦合模型…………………………………...87 (五) 未補償的界面間AFM自旋模型…………………………………….89 (六) Domain state模型…………………………………………………….92 (七) 部份磁區模型………………………………………………………...95 (八) 自旋玻璃模型………………………………………………………...97 (九) 正交換偏壓產生機制……………………………………………….105 六、 Co/Pt多層膜的垂直磁異向性……………………………………………109 七、 Co/Pt多層膜的垂直交換偏壓……………………………………………113 八、 垂直交換偏壓的應用……………………………………………………..128 (一) 垂直記錄媒體………………………………………………………...128 (二) 磁頭結構中自由層的偏壓…………………………………………...129 (三) 垂直自旋閥讀取磁頭………………………………………………...131 (四) 垂直磁阻隨機存取記憶體…………………………………………...131 第二部份 第三章 實驗方法………………………………………………………145 一、 實驗步驟…………………………………………………………………..145 二、 底層NiO反鐵磁薄膜的製備……………………………………………..145 (一) 直流離子源工作機制………………………………………………….146 (二) 射頻離子源工作機制………………………………………………….148 三、 電子束蒸鍍系統…………………………………………………………..150 四、 原子力顯微鏡原理………………………………………………………..152 五、 X光繞射儀………………………………………………………………..155 第二部份 第四章 結果與討論……………………………………………………158 一、 底層反鐵磁NiO結構……………………………………………………158 (一) 原子力顯微鏡分析…………………………………………………159 (二) X-ray繞射分析……………………………………………………..161 第二部份 第五章 結論……………………………………………………………173

    第一部份 第一章
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    第一部份 第四章
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    [57]N. N. Phuoc, T. Suzuki, IEEE Trans. Mag. 43, 897(2007)
    [58]N. N. Phuoc, T. Suzuki, J. Appl. Phys. 99, 08C107(2006)
    [59]S. Zhang, D. V. Dimitrov, G. C. Hadjipanayis, J. W. Cai, and C. L. Chien,
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    [60]T. F. Ambrose, T. J. Klemmer, R. J. M. van de Veerdonk, G. J. Parker, J. K. Howard, Patnet US6835464 (2004)
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    [63]N. N. Phuoc, N. P. Thuy, N. A. Tuan, L. T. Hung, N. T. Thanh, N. T. Nam, J. Magn. Magn. Mater. 298, 43 (2006)

    第二部份 第三章
    [1]Kenny Liu, Ion Beam Source, Veeco
    [2]Veeco ion source(產品說明書)
    [3]汪建民等人,"材料分析",中國材料科學學會(1998)
    [4]SPM presentation for basic training, Veeco
    [5]B. D. Cullity, Elements of X-RAY Diffraction, 3rd ed, (2001)
    [6]中興大學材料工程學系碩士論文,奈米尺寸Co/Pt多層膜垂直異向性探討,蘇群皓,民國97年
    [7]H. R. Kaufman, R. S. Robinson, R. I. Seddon, J. Vac. Sci. Technol. A 5, 2081 (1987)
    [8]國立中央大學光電科學研究所碩士論文,離子輔助反應射頻磁控濺鍍紫外光薄膜之研究,戴國良,民國九十年
    [9]http://www.msm.cam.ac.uk/phasetrans/2003/Superalloys/coatings/index.html
    [10]E-Gun原理與技術資料, http://www.ndl.org.tw/web/department/cfteam/docs/devices/forms_E/T21_E_2.doc
    [11]國立中央大學光電科學研究所碩士論文,鋁金屬誘發多晶矽之研究,鄭春皇,民國95年
    [12]ULVAC網站,http://www.ulvac.co.jp/eng/products/compo/F140006.html

    第二部份 第四章
    [1]M. T. Johnson, P. J. H. Bloemen, F. J. A. den Broeder and J. J. de Vries , Rep. Prog. Phys. 59 ,1409(1996)
    [2]中興大學材料工程學系碩士論文,奈米尺寸Co/Pt多層膜垂直異向性探討,蘇群皓,民國97年
    [3]V. Valvoda, M. Jarvinen, Powder Diffraction, 5, 200 (1990)
    [4]劉金聲,離子束沈積薄膜技術及應用,國防工業出版社 344-347(2003)
    [5]J. J. Cuomo, S. M. Rossnagel, H. R. Kaufman, “Handbook of ion beam processing technology” (1989)
    [6]逢甲大學材料科學與工程學系碩士論文,雙離子束濺鍍鋅鉬氧化物薄膜於聚醚堸基板之光電特性研究,何紹誌,民國98年。
    [7]J. M. E. Harper, J. J. Cuomo, H. T. G. Hentzell, Appl. Phys. Lett. 43, 547 (1983)
    [8]C. R. Guarnieri, S. D. Offsey, J. J. Cuomo, J. Vac. Sci. And Technol.
    [9]C. H. Lai, P. H. Huang, Y. J. Wang, R. T. Huang, J. Appl. Phys. 95, 7222 (2004)
    [10]G. H. Yu, F. W. Zhu, C. L. Chai, Appl. Phys. A 76, 45 (2003)

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