簡易檢索 / 詳目顯示
| 研究生： |
潘宏彬 H.B.Pan |
|---|---|
| 論文名稱： |
晶圓式離子能量分析儀於脈衝調變式電感式電漿源之量測與分析 The measurement and analysis of wafer type gridded energy analyzer in a pulse-time modulated inductively coupled plasma |
| 指導教授： |
柳克強
K.C.Leou |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2001 |
| 畢業學年度： | 89 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 96 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
| 分享至: |
| 查詢本校圖書館目錄 查詢臺灣博碩士論文知識加值系統 勘誤回報 |
全文公開日期 本全文未授權公開 (校內網路)全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)