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研究生: 李昭慶
論文名稱: 藉由機台分群法改善晶圓廠電性模型及預測
指導教授: 鄭西顯
口試委員:
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 工學院 - 化學工程學系
Department of Chemical Engineering
論文出版年: 2009
畢業學年度: 97
語文別: 中文
論文頁數: 43
中文關鍵詞: 半導體晶圓廠模型預測機台分群
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  • 在有些半導體的問題上,礙於數據取得困難,或是資料共有、一致性的問題,都存在著待分析資料不足的問題,如何在數據量以及變數量的多寡上面的取捨,也是在使用統計分析時需要注意的一項重點。
    面對龐大的資料,我們也作了篩選的動作,利用初步的統計方法,檢視出資料裡對我們應變數關係較明顯的幾個重要變數,藉由一個門檻值來篩選,如此一來,再作進一步分析時,所有變數一起做分析造成的數據量問題,便能夠得到改善。
    我們為了解決數據量和機台數量的問題,使用了分群的方法,有效的將機台數量降低,使我們在利用統計方法建立模型時,不再為了變數量太多造成模型過度配適(over-fit)的問題所困擾。


    目錄 1. 緒論 1 1.1. 前言 1 1.2. 文獻回顧 3 1.3. 研究動機 5 2. 原理 6 2.1. P值檢定 6 2.2. 兩母體的檢定 7 2.3. 變異數分析 9 2.4. 共變異數分析 14 2.5. 逐步回歸法 16 2.5.1. 向前選取法 16 2.5.2. 後退淘汰法 18 2.5.3. 逐步選取法 18 3. 研究方法 20 3.1. 製程介紹 20 3.2. 晶圓物理模型介紹 22 3.3. 線上量測資訊(IN-LINE METROLOGY) 24 3.3.1. WAT1資料前處理 24 3.3.2. 線上量測資料的篩選 24 3.3.3. 逐步回歸法挑選重要變數 27 3.4. 機台效應關係 28 3.4.1. 篩選重要站點資訊 28 3.4.2. 站點分群 29 3.4.3. 站點之逐步挑選法 35 3.5. WAT1模型 38 3.6. 模型的測試與使用 38 4. 結論 41 5. 參考文獻 42

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