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| 研究生： |
曾于芳 Tseng, Yu-Fang |
|---|---|
| 論文名稱： |
開發高度羥基化金屬團簇與混合材料並應用於電子束微影與極紫外光微影 Development of Highly Hydroxylated Metal Clusters and Blending Materials for Applications in Electron Beam and Extreme Ultraviolet Lithography |
| 指導教授： |
劉瑞雄
Liu, Rai-Shung |
| 口試委員: |
高蔡勝
Gau, Tsi-Sheng 林俊宏 Lin, Chun-Hung |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
理學院 - 化學系 Department of Chemistry |
| 論文出版年： | 2023 |
| 畢業學年度： | 111 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 185 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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全文公開日期 2028/07/16 (校內網路)全文公開日期 2028/07/16 (校外網路)