研究生: |
邱如謙 Chiu, Ru-Chien |
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論文名稱: |
以微波電漿化學氣相沉積低溫成長碳化矽 Low Temperature Growth of Silicon Carbide by Microwave Plasma CVD Process |
指導教授: |
李紫原
Lee, Chi-Young |
口試委員: |
李紫原
林諭男 甘炯耀 |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
論文出版年: | 2013 |
畢業學年度: | 101 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 109 |
相關次數: | 點閱:2 下載:0 |
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