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| 研究生： |
黃廷凱 Huang, Ting-Kai |
|---|---|
| 論文名稱： |
晶圓上互補式浮動閘極深紫外光感測器 On-Wafer Complementary DUV Detector for Sensing in Advanced Lithographic System |
| 指導教授： |
金雅琴
King, Ya-Chin |
| 口試委員: |
林崇榮
Lin, Chrong-Jung 施教仁 Shih, Jiaw-Ren 劉怡君 Liu, Yi-Chun |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
半導體研究學院 - 半導體研究學院 College of Semiconductor Research |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 113 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 96 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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全文公開日期 2029/09/08 (校內網路)全文公開日期 2029/09/08 (校外網路)