本實驗利用ICP系統沈積類鑽石薄膜，以C2H2與H2混合氣體選擇適當的沈積參數沈積高透光性的類鑽石薄膜。探討不同沈積時間及壓力下，對所沈積出的類鑽石薄膜其薄膜厚度、內部鍵結情況以及透光性的影響。使用掃描式電子顯微鏡觀察薄膜的表面與橫截面型態，利用原子力顯微鏡觀察類鑽膜表面粗糙度，使用拉曼光譜儀分析薄膜的鍵結情況以及使用spectrum-photometer檢測薄膜透光度。再以不同的基材上沈積類鑽石薄膜，比較其鍵結情況的差異。

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