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| 研究生： |
卡莉妮 Kalyani S. Bhosale |
|---|---|
| 論文名稱： |
使用氮化鈦複合材料(TiN-C) CMOS 平台 之MEMS 共振器技術探討 A Comprehensive Study of MEMS Resonators Using Titanium Nitride Composite (TiN-C) CMOS Platform |
| 指導教授： |
李昇憲
Li, Sheng-Shian |
| 口試委員: |
⽅維倫
Fang, Weileun 邱⼀ Chiu, Yi 鄭裕庭 Cheng, Yu-Ting 盧向成 Lu, Shiang-Cheng 李尉彰 Li, Wei-Chang 曾聖翔 Tseng, Sheng-Hsiang |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 奈米工程與微系統研究所 Institute of NanoEngineering and MicroSystems |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 143 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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全文公開日期 2027/06/25 (校內網路)全文公開日期 2027/06/25 (校外網路)