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| 研究生： |
蔡宏營 Hung-Yin Tsai |
|---|---|
| 論文名稱： |
化學機械平坦化基於材料移除與運動學之不均勻性分析 ANALYSIS OF NONUNIFORMITY BASED ON MATERIAL REMOVAL AND KINEMATICS IN CHEMICAL MECHANICAL PLANARIZATION |
| 指導教授： |
賀陳弘
Hong Hocheng |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 動力機械工程學系 Department of Power Mechanical Engineering |
| 畢業學年度： | 87 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 130 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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