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| 研究生： |
杜韋霖 Du, Wei-Lin |
|---|---|
| 論文名稱： |
藉由單層原子蝕刻技術達到大面積均勻且可控制層數之二硫化鎢薄膜 Large Scale, Uniform, and Layer-by-layer Control of Few Layer WS2 Film by Atomic Layer Etching |
| 指導教授： |
嚴大任
Yen, Ta-Jen |
| 口試委員: |
呂明諺
Lu, Ming-Yen 陳哲勤 Chen, Che-Chin |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2021 |
| 畢業學年度： | 109 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 88 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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全文公開日期 2026/10/20 (校內網路)全文公開日期 2026/10/20 (校外網路)