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| 研究生： |
游正弘 |
|---|---|
| 論文名稱： |
以離子植入改質的自旋塗佈式玻璃膜其出氣行為之研究 A Study on Outgassing Behavior of Spin-on Glass(SOG) Modified by Ion Implantation |
| 指導教授： | 張一熙 |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 畢業學年度： | 86 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 56 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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