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| 研究生： |
李承勳 Li, Cheng Syun |
|---|---|
| 論文名稱： |
具有差動式壓阻感測機制之高Q值MEMS共振器 High-Q MEMS Resonators With Differentially Piezoresistive Sensing Configuration |
| 指導教授： |
李昇憲
Li, Sheng Shian |
| 口試委員: |
黃榮堂
Huang, Jung Tang 徐文祥 Hsu, Wen Syang 方維綸 Fang, Wei Leun 鄒慶福 Tsou, Ching Fu 吳名清 Wu, Ming Ching |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 奈米工程與微系統研究所 Institute of NanoEngineering and MicroSystems |
| 論文出版年： | 2015 |
| 畢業學年度： | 104 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 160 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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