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| 研究生： |
郭永棋 Kuo, Yin-Chy |
|---|---|
| 論文名稱： |
在一氧化二氮和氧氣的環境下以微波電漿放電後氧化法低溫成長4nm超薄氧化層之阻陷研究 Trap Study on the Ultra Thin Oxide(4nm) Using Microwave Plasma Afterglow Oxidation at Low Temperature in Different N2O and O2 Mixtures |
| 指導教授： |
黃惠良
Hwang, Huey-Liang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電機工程學系 Department of Electrical Engineering |
| 畢業學年度： | 86 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 33 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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