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| 研究生： |
吳政諺 Wu, Cheng-Yen |
|---|---|
| 論文名稱： |
應用於氣相與液相環境之微機電壓電共振式質量感測器開發 Development of Piezoelectric MEMS Resonant Mass Sensors in Air and Liquid Environment |
| 指導教授： |
李昇憲
Li, Sheng-Shian |
| 口試委員: |
方維倫
Fang, Wei-Leun 邱一 Chiu, Yi |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 奈米工程與微系統研究所 Institute of NanoEngineering and MicroSystems |
| 論文出版年： | 2021 |
| 畢業學年度： | 109 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 128 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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全文公開日期 2025/09/23 (校內網路)全文公開日期 2025/09/23 (校外網路)
全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)