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| 研究生： |
林碧玲 Lin, Bi Ling |
|---|---|
| 論文名稱： |
以不同偏壓之濺鍍法成長氮化鈦薄膜在次微米內連線之研製 Study on Bias-Sputter Deposited TiNx in Submicron Interconnects |
| 指導教授： |
黃惠良
Hwang, Huey Liang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電機工程學系 Department of Electrical Engineering |
| 畢業學年度： | 84 |
| 語文別： | 英文 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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