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| 研究生： |
張舒雯 Shu-Wen Chang |
|---|---|
| 論文名稱： |
磷酸與檸檬酸系列在砷化鎵基底之濕蝕刻研究 Investigation of GaAs-based wet etching process in phosphoric-acid and citric-acid based solutions |
| 指導教授： |
黃金花
Jin-Hua Huang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2002 |
| 畢業學年度： | 90 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 83 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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