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研究生: 顏偉峻
論文名稱: 以高密度化學氣相沉積系統製備非晶矽及多晶矽太陽能電池之薄膜特性分析
Development and analysis of a-Si:H and poly-Si thin films deposited by ICPCVD for thin film solar cells
指導教授: 王立康
黃惠良
口試委員: 曾百亨
邱福千
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 電機資訊學院 - 光電工程研究所
Institute of Photonics Technologies
論文出版年: 2012
畢業學年度: 100
語文別: 英文
論文頁數: 116
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