研究生: |
羅千益 Lo Chin Yee |
---|---|
論文名稱: |
雙金屬熱挫曲微閥之流場研究 Numerical Simulation of a Bimetallically Actuated Microvalve |
指導教授: |
李雄略
Lee, S.L. |
口試委員: | |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
工學院 - 動力機械工程學系 Department of Power Mechanical Engineering |
論文出版年: | 2003 |
畢業學年度: | 91 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 51 |
中文關鍵詞: | 微閥 、數值模擬 、流場 |
外文關鍵詞: | microvalve, numerical simulation, flow field, NAPPLE |
相關次數: | 點閱:2 下載:0 |
分享至: |
查詢本校圖書館目錄 查詢臺灣博碩士論文知識加值系統 勘誤回報 |
本文的目的在以數值方法研究雙材質熱挫屈式微閥的進口壓力以及微閥開口大小等不同的條件對微流道中的流體的流量產生之影響。藉由數值方法的準確性與便利性,建立起一個模擬微閥之中壓差與流量的函數關係。並對入口速度做不同的設定,藉著模擬結果來判斷在一定的壓差下,入口的速度分布對流量產生多大的影響。
未來,使用者可以經由使用這個模組來得知微閥中的流場分布情形。這對於設計微閥以及微流道的人而言,可指出設計的方向,亦可在短時間內得知其設計的結果,相信這個模組對於縮短設計時間有所助益。
1.Nakagawa, S., Shoji, S., and Esashi, M., 1990, “A microchemical analyzing system integrated on a silicon wafer” in proc. IEEE-MEMS Workshop, pp. 89-94
2.Sakata, M., et al ,1996,“PZT thin film bucking actuator for optical application” Actuator 96,5th international Conference on new Actuators, pp.26-28
3.Jerman, H., 1990, “Electrically-activated micromachined diaphragm valves”, in Tech. Dig. IEEE Sensors and Actuator Workshop, pp.65-69
4.Messner, S., Muller, M., Burger, V., Schaible, J., Zengerle, R., 1998,“A 3-Way Silicon Microvalve for Pneumatic Applications” , Actuator 98, 6th International Conference on New Actuators, pp.40-44
5.Ulrich, J., Zengerle, R., 1995,“Static and dynamic simulation of a KOH-etched micro valve” 8th International Conference on Solid-State Sensor and Actuator, pp. 17-20
6.Fitch, S., Henning, K., Arklic, B., Harris, M., 1998 “Pressure-based mass-flow control using thermopneumatically-actuated microvalves.” In Proceedings, Sensors and Actuators Workshop, pp. 162-165
7.Lee,S. L. ,1989,“Weighting Function Scheme and its Application on Multi-Dimensional Conservation Equations’’, Int. J. Heat Mass Transfer. Vol.32,pp.2065-2073
8.Lee, S. L., and Tzong, R. Y.,1992,,“Artificial Pressure for Pressure-Linked Equations’’ Int. J. Heat Mass Transfer. Vol.35,No.10,pp.2705-2716
9.Lee., S. L.,1989, “A Strong-Implicit Solver for Two-Dimensional Elliptic Differential Equation’’ Numerical Heat Transfer. Vol.16B,pp.161-178
10. White,F.M.,1991,“Viscous Fluid Flow’’ 2nd ed.,McGraw-Hill,New York