研究生: |
陳立仁 Chen, Li-Zen |
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論文名稱: |
深次微米 TiW/TiSi2 接觸之製作及其可靠度分析 The Fabrication and Reliability Testing of Deep-Submicron TiW/ TiSi2 Contacts |
指導教授: | 徐永珍 |
口試委員: | |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
電機資訊學院 - 電機工程學系 Department of Electrical Engineering |
畢業學年度: | 85 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 80 |
相關次數: | 點閱:2 下載:0 |
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