研究生: |
陳威仁 Chen, Wei-Ren |
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論文名稱: |
富金屬界面層與合金閘介電層和真空退火與低溫氧化對鍺n型金氧半電晶體之影響研究 Effects of Metal Rich Interface Layer/Alloy Gate Dielectric and Vacuum Annealing/Low Temperature Oxidation on Ge nMOSFET |
指導教授: |
張廖貴術
Chang-Liao, Kuei-Shu |
口試委員: |
趙天生
Chao, Tien-Sheng 李耀仁 Lee, Yao-Jen |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
論文出版年: | 2024 |
畢業學年度: | 112 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 138 |
相關次數: | 點閱:3 下載:0 |
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