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| 研究生： |
陳志榮 |
|---|---|
| 論文名稱： |
金薄膜與矽晶界面反應以及極大型積體電路金屬化材料問題研究 Interfacial reactions of gold thin films on silicon and materials issues of au metallization in ULSI devices |
| 指導教授： | 陳力俊 |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 畢業學年度： | 86 |
| 語文別： | 中文 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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