簡易檢索 / 詳目顯示

研究生: 黃麒叡
Huang, Chi-Ruei
論文名稱: 石墨烯奈米帶電晶體:製備、量測與模擬
Graphene Nanoribbon Transistors: Fabrication, Measurement and Simulation
指導教授: 邱博文
Chiu, Po-Wen
口試委員: 鄭舜仁
李奎毅
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 電機資訊學院 - 電子工程研究所
Institute of Electronics Engineering
論文出版年: 2011
畢業學年度: 99
語文別: 中文
論文頁數: 87
中文關鍵詞: 石墨烯奈米帶電晶體
外文關鍵詞: graphene, nanoribbon, transistor
相關次數: 點閱:2下載:0
分享至:
查詢本校圖書館目錄 查詢臺灣博碩士論文知識加值系統 勘誤回報
  • 單層石墨具有極高的電子遷移率,但卻因為能隙為零而無法應用於現今的半導體產業,因此打開能隙的理論與方法在這幾年不斷被研究著,我們在本篇論文中利用側向局限方式打開能隙,以奈米線為蝕刻遮罩,並以可以應用於工業上的 CVD 成長多晶單層石墨,蝕刻成極窄的單層石墨奈米帶,單層石墨奈米帶的寬度可到 50nm,再製成場效應元件進行電性量測,在低溫下電流的開關比可到達 1000,並進行分析與討論多晶單層石墨奈米帶與其他團隊所做的單晶石墨奈米帶電性不同之處,並以密度泛函論模擬了扶手椅型的石墨奈米帶其能帶與穿隧係數對應能量的變化,並以此為基礎進一步使用兩種不同形狀的單層石墨結構作為單層石墨奈米帶元件的電極,比較電性模擬的結果,發現結構對於電性有十分大所影響,尤其是改變結構能造成能隙大小的改變,提出有效改善現階段製作單層石墨帶元件的結構。


    1. 緒論 1.1低維度奈米結構的演進與發展 1.2石墨晶體結構 1.2.1單層石墨 1.2.2雙層與多層石墨 2. 單層石墨的電性與應用 2.1單層石墨的能帶及電性分析 2.1.1 能帶模擬 - 密度泛函論 2.1.2 單層石墨的電子能帶結構 2.1.3 單層石墨電性分析 2.2 受側向侷限的單層石墨能帶及電性分析 2.2.1 受側向侷限的單層石墨電子能帶結構 2.2.2 受側向侷限的單層石墨電學特性 2.3 單層石墨在電子與光電元件上的應用 3. 單層石墨的製備與判斷 3.1 單層石墨的製備方法 3.1.1 機械剥離法 3.1.2 靜電剥離法 3.1.3 熱裂解磊晶成長於碳化矽上 3.1.4 氧化還原法 3.1.5 化學氣相沉積法 3.2 判斷單層石墨的工具 3.2.1 原子力顯微鏡 3.2.2 穿透式電子顯微鏡 3.2.3 掃描式穿隧顯微鏡 3.2.4 拉曼光譜儀 4. 元件製程 4.1 導論 4.2 單層石墨薄膜的轉移 4.3 微影技術 4.3.1 光學微影 4.3.2 電子束微影 4.4 沉積奈米線 4.5 反應式離子蝕刻技術 4.6 熱金屬蒸鍍 4.7 高溫退火 4.8 實驗流程 4.9 金屬導線連接與量測系統 5. 元件模擬與實驗結果 5.1 單層石墨奈米帶元件電學性質量測 5.2 單層石墨奈米帶的能帶結構模擬 5.3 單層石墨奈米帶的電性模擬 6. 結論與未來展望

    [1] Bardeen, J. and Brattain, W. H. Phys. Rev. 74(2), 230 Jul (1948).
    [2] Richard S. Muller, Theodore I. Kamins, M. C. Device Electronics for Inte-
    grated Circuits. John Wiley & Sons, (2003).
    [3] Intel. http://www.legitreviews.com/article/1082/1/ .
    [4] Johannes V. Barth, G. C. and Kern, K. Nature 437, 671 (2005).
    [5] Novoselov, K. S., Geim, A. K., Morozov, S. V., Jiang, D., Zhang, Y., Dubonos,
    S. V., Grigorieva, I. V., and Firsov, A. A. Science 306(5696), 666{669 (2004).
    [6] Berger, C., Song, Z., Li, X., Wu, X., Brown, N., Naud, C., Mayou, D., Li, T.,
    Hass, J., Marchenkov, A. N., Conrad, E. H., First, P. N., and de Heer, W. A.
    Science 312(5777), 1191{1196 (2006).
    [7] Chen, J.-H., Jang, C., Xiao, S., Ishigami, M., and Fuhrer, M. S. Nature
    Nanotechnol. 3(4), 206{209 APR (2008).
    [8] Lin, Y.-M., Jenkins, K. A., Valdes-Garcia, A., Small, J. P., Farmer, D. B.,
    and Avouris, P. Nano Lett. 9(1), 422{426 JAN (2009).
    [9] Liao, L., Lin, Y.-C., Bao, M., Cheng, R., Bai, J., Liu, Y., Qu, Y., Wang,
    K. L., Huang, Y., and Duan, X. Nature 467(7313), 305{308 SEP 16 (2010).
    [10] Hass, J., de Heer, W. A., and Conrad, E. H. Journal of Physics-Condensed
    Matter 20(32) AUG 13 (2008).
    11] Kittel, C. Introduction to Solid State Physics. (1968).
    [12] Chung, D. D. L. Journal of Materials Science 37, 1475 (2002).
    [13] Lu, C.-C. Controlled Growth of Single Layer and Double Layer Graphene
    Sheets on Patterned Silicon Wafers. PhD thesis, Tsing Hua university, (2009).
    [14] Latil, S. and Henrard, L. Phys. Rev. Lett. 97(3) (2006).
    [15] R. Satio, G. D. and Dresselhaus, M. Physical Properties of Carbon Nanotubes.
    (1998).
    [16] Liu, L. and Shen, Z. Appl. Phys. Lett. 95, 252104 (2009).
    [17] Partoens, B. and Peeters, F. M. Phys. Rev. B 74(7) AUG (2006).
    [18] Yuanbo Zhang, Yan-Wen Tan, H. L. S. and Kim, P. Nature 438, 201 (2005).
    [19] Huang, P. Y., Ruiz-Vargas, C. S., van der Zande, A. M., Whitney, W. S.,
    Levendorf, M. P., Kevek, J. W., Garg, S., Alden, J. S., Hustedt, C. J., Zhu,
    Y., Park, J., McEuen, P. L., and Muller, D. A. Nature 469(7330), 389+ JAN
    20 (2011).
    [20] Fengnian Xia, Damon B. Farmer, Y.-m. L. and Avouris, P. Nano Lett. 10,
    715 (2010).
    [21] Kyoko Nakada, Mitsutaka Fujita, G. D. and Dresselhaus, M. S. Phys. Rev. B
    54, 24 (1996).
    [22] Veronica Barone, O. H. and Scuseria, G. E. Nano Lett. 6, 2748 (2006).
    [23] Kausik Majumdar, Kota V. R. M. Murali, N. B. and Lin, Y.-M. Nano Lett.
    10, 2857 (2010).
    [24] Yousuke Kobayashi, Ken-ichi Fukui, T. E. K. K. and Kaburagi, Y. Phys. Rev.
    B 71, 193406 (2005).
    [25] Xiaolin Li, Xinran Wang, L. Z. S. L. and Dai, H. Science 319, 1229 (2008).
    [26] Jiao, L., Wang, X., Diankov, G., Wang, H., and Dai, H. Nature Nanotechnol.
    6(2), 132 FEB (2011).
    [27] Han, M. Y., Oezyilmaz, B., Zhang, Y., and Kim, P. Phys. Rev. Lett. 98(20)
    MAY 18 (2007).
    [28] Lin, Y.-M., Perebeinos, V., Chen, Z., and Avouris, P. Phys. Rev. B 78(16)
    OCT (2008).
    [29] Zhihong Chen, Yu-Ming Lin, M. J. R. P. A. Physica E 40, 228 (2007).
    [30] F. Sols, F. G. and Neto, A. H. C. Phys. Rev. Lett. 99, 166803 (2007).
    [31] Dmitry V. Kosynkin, Amanda L. Higginbotham, A. S. J. R. L. A. D. B. K. P.
    and Tour, J. M. Nature 458, 872 (2009).
    [32] Bae, S., Kim, H., Lee, Y., Xu, X., Park, J.-S., Zheng, Y., Balakrishnan, J.,
    Lei, T., Kim, H. R., Song, Y. I., Kim, Y.-J., Kim, K. S., Ozyilmaz, B., Ahn,
    J.-H., Hong, B. H., and Iijima, S. Nature Nanotechnol. 5(8), 574{578 (2010).
    [33] P. Blakea, E. W. Hil, A. H. C. N. K. S. N. D. J. R. Y. T. J. B. and Geim,
    A. K. 91, 063124 (2007).
    [34] Liang, X., Giacometti, V., Ismach, A., Harteneck, B. D., Olynick, D. L., and
    Cabrini, S. Appl. Phys. Lett. 96(1) (2010).
    [35] J. Hass, W. A. d. H. and Conrad, E. H. J. Phys.: Condens. Matter 20, 323202
    (2008).
    [36] W. A. de Heer, C. Berger, X. P. N. F. E. H. C. X. L. T. L. M. S. J. H. M. L.
    S. M. P. and Martinez, G. Solid State Communications 143, 92 (2007).
    [37] C. Berger, Z. Song, X. L. X. W. N. B. C. N. D. M. T. L. J. H. A. N. M. E.
    H. C. P. N. F. and de Heer, W. A. Science 321, 1191 (2006).
    [38] X. Li, G. Zhang, X. B. X. S. X. W. E. W. and Dai, H. Nature Nanotechnol.
    3, 538 (2008).
    [39] G. Eda, G. F. and Chhowalla, M. Nature Nanotechnol. 3, 270 (2008).
    [40] Vincent C. Tung, Matthew J. Allen, Y. Y. and Kaner, R. B. Nature Nan-
    otechnol. 4, 25 (2008).
    [41] May, J. W. Surf. Sci 17, 267 (1969).
    [42] J. Kedzierski, PL. Hsu, A. R. J. K. P. H. P. W. and Keast, C. IEEE Electron
    Device Lett. 30, 7 (2009).
    [43] X. Li, W.i Cai, . J. A. S. K. J. N. D. Y. R. P. A. V. I. J. E. T. S. K. B. L. C.
    and Ruo, R. S. Science 324, 1312 (2009).
    [44] Novoselov, K., Jiang, D., Schedin, F., Booth, T., Khotkevich, V., Morozov,
    S., and Geim, A. Proc. Natl Acad. Sci. 102(30), 10451{10453 JUL 26 (2005).
    [45] Yousuke Kobayashi, K.-i. F. PHYSICAL REVIEW B 71, 193406 (2005).
    [46] A. C. Ferrari, J. C. Meyer, V. S. C. C. M. L. F. M. S. P. D. J. K. S. N. S. R.
    and Geim, A. K. Phy. Rev. Lett. 97, 187401 (2006.).
    [47] Ihnatsenka, S. and Kirczenow, G. Phys. Rev. B 80(20) NOV (2009).
    [48] Farmer, D. B., Golizadeh-Mojarad, R., Perebeinos, V., Lin, Y.-M., Tulevski,
    G. S., Tsang, J. C., and Avouris, P. Nano Lett. 9(1), 388{392 JAN (2009).
    [49] Melinda Y. Han, J. C. B. and Kim, P. Phys. Rev. Lett. 104, 056801 (2010).
    [50] Kim, S., Nah, J., Jo, I., Shahrjerdi, D., Colombo, L., Yao, Z., Tutuc, E., and
    Banerjee, S. K. Appl. Phys. Lett. 94(6) FEB 9 (2009).
    [51] Li, X., Magnuson, C. W., Venugopal, A., Tromp, R. M., Hannon, J. B., Vogel,
    E. M., Colombo, L., and Ruo_, R. S. Journal of the American Chemical
    Society 133(9), 2816{2819 MAR 9 (2011).
    [52] Yazyev, O. V. and Louie, S. G. Nature Mater. 9(10), 806{809 OCT (2010).
    [53] Son, Y.-W., Cohen, M. L., and Louie, S. G. Phys. Rev. Lett. 97(21) NOV 24
    (2006).
    [54] Raza, H. and Kan, E. C. Phys. Rev. B 77(24) JUN (2008).
    [55] Datta, S. Electronic Transport in Mesoscopic Systems. (1997).
    [56] Xu, Z., Zheng, Q.-S., and Chen, G. Appl. Phys. Lett. 90(22) MAY 28 (2007).
    [57] Xiong, Y.-J. and Xiong, B.-K. J. Appl. Phys. 109, 103707 (2011).
    [58] Evaldsson, M., Zozoulenko, I. V., Xu, H., and Heinzel, T. Phys. Rev. B 78(16)
    OCT (2008).
    [59] Novoselov, K., Geim, A., Morozov, S., Jiang, D., Katsnelson, M., Grigorieva,
    I., Dubonos, S., and Firsov, A. Nature 438(7065), 197{200 NOV 10 (2005).

    無法下載圖示 全文公開日期 本全文未授權公開 (校內網路)
    全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)

    QR CODE