簡易檢索 / 詳目顯示
| 研究生： |
陳正榮 Chen, Cheng Rong |
|---|---|
| 論文名稱： |
以微波電漿放電後氧化法在大面積晶片上成長超薄氧化層及其可靠度研究 Study on the Reliability of Ultra-Thin Oxide Grown in Large Diameter Silicon Wafers by Microwave Plasma Afterglow Oxidation |
| 指導教授： |
黃惠良
Hwang Huey Liang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電機工程學系 Department of Electrical Engineering |
| 畢業學年度： | 84 |
| 語文別： | 英文 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
| 分享至: |
| 查詢本校圖書館目錄 查詢臺灣博碩士論文知識加值系統 勘誤回報 |
全文公開日期 本全文未授權公開 (校內網路)全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)