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| 研究生： |
粘巧芸 Nien, Chiao-Yun |
|---|---|
| 論文名稱： |
金屬錫團簇光阻材料合成並應用於極紫外光及電子束微影 Synthesis of Photoresist Materials with Metal Tin Clusters and Applied to Extreme Ultraviolet and Electron Beam Photolithography |
| 指導教授： |
劉瑞雄
Liu, Rai-Shung |
| 口試委員: |
邱博文
Chiu, Po-Wen 許博淵 Shew, Bor-Yuan |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
理學院 - 化學系 Department of Chemistry |
| 論文出版年： | 2020 |
| 畢業學年度： | 108 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 448 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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全文公開日期 2025/07/20 (校內網路)全文公開日期 2025/07/20 (校外網路)