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| 研究生： |
蔡育萍 Tsai, Yu-Ping |
|---|---|
| 論文名稱： |
離子鍍著系統中偏壓及氮氣分壓對於氮化鈦薄膜於不鏽鋼上之微結構及機械性質之影響 Effect of Bias and Nitrogen Partial Pressure on the Microstructure and the Mechanical Properties of TiN film grown on Stainless Steel by HCD-Ion-Plating |
| 指導教授： |
黃嘉宏, 喻冀平
Huang Jia-Hong, Yu Ge-Ping |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 畢業學年度： | 86 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 88 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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