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研究生: 蔡俊琳
Chun-Lin Tsai
論文名稱: 深次微米氮化矽間隙壁及超薄氧化層輕摻雜汲極N型金氧半電晶體熱載子退化行為之研究
Study on Hot Carrier Degradation in Deep Sub-Micron Nitride Spacer and Ultra-Thin oxide
指導教授: 龔正
Jeng Gong
口試委員:
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 電機資訊學院 - 電子工程研究所
Institute of Electronics Engineering
論文出版年: 2002
畢業學年度: 90
語文別: 中文
論文頁數: 106
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