研究生: |
辜建銘 Ku, Jang-Ming |
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論文名稱: |
應用兩階段氮化氧化層以改善金氧半元件電特性 Improvement of Electrical Property in Metal-Oxide-Si Device by Two Step Nitrided Oxide |
指導教授: |
張廖貴術
Kuei-Shu Chang-Liao |
口試委員: | |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
畢業學年度: | 86 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 109 |
相關次數: | 點閱:2 下載:0 |
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