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| 研究生： |
胡榮治 Jung-Chih Hu |
|---|---|
| 論文名稱： |
金屬化學氣相沉積技術與電化學方式沈積銅導線在積體電路金屬化製程之應用與研究 Investigation of Metal (Ti, TiN) Chemical Vapor Deposition and Copper Electrodeposition for ULSI Metallization Applications |
| 指導教授： |
陳力俊
Lih-Juann Chen 張鼎張 Ting-Chang Chang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2000 |
| 畢業學年度： | 88 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 154 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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