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| 研究生： |
羅聖全 Shen-Chuan Lo |
|---|---|
| 論文名稱： |
以先進影像能譜電鏡技術：研究銅金屬化製程中低介電常數材料之介電性質與熱穩定性 Advanced Image-Spectrum Technique: The Investigation of Dielectric Property and Thermal Stability of Low-k Material in Cu Metallization |
| 指導教授： |
開執中
Ji-Jung Kai 陳福榮 Fu-Rong Chen |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2003 |
| 畢業學年度： | 91 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 156 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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