研究生: |
傅睿紘 Fu, Jui-Hung |
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論文名稱: |
極強紫外線光阻材料開發及改良,多種錫團簇系統材料合成 Development and Improvement of Extremely Ultraviolet Photoresist Containing Twelve, Six, Four and Other Tin Clusters |
指導教授: |
劉瑞雄
Liu, Rai-Shung |
口試委員: |
許博淵
Shew, Bor-Yuan 邱博文 Chiu, Po-Wen |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
理學院 - 化學系 Department of Chemistry |
論文出版年: | 2018 |
畢業學年度: | 106 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 438 |
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