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研究生: 傅睿紘
Fu, Jui-Hung
論文名稱: 極強紫外線光阻材料開發及改良,多種錫團簇系統材料合成
Development and Improvement of Extremely Ultraviolet Photoresist Containing Twelve, Six, Four and Other Tin Clusters
指導教授: 劉瑞雄
Liu, Rai-Shung
口試委員: 許博淵
Shew, Bor-Yuan
邱博文
Chiu, Po-Wen
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 理學院 - 化學系
Department of Chemistry
論文出版年: 2018
畢業學年度: 106
語文別: 中文
論文頁數: 438
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