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| 研究生： |
呂俊衛 Lu, Chun-wei |
|---|---|
| 論文名稱： |
在氧氣及一氧化二氮混合環境下以微波電漿放電後氧化法低溫成長3~5nm超薄氧化層之特性與可靠度研究 Property and Reliability Study on the Ultra-thin Oxides(3-5nm) Grown by Microwave Plasma Afterglow Oxidation at Low Temperature in the Mixtures of N2O and O2 |
| 指導教授： |
黃惠良
Huey-liang Hwang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電機工程學系 Department of Electrical Engineering |
| 論文出版年： | 1984 |
| 畢業學年度： | 85 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 1 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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