簡易檢索 / 詳目顯示
| 研究生： |
黃新員 Hisn-Yuan Huang |
|---|---|
| 論文名稱： |
表面前處理和高溫沈積法對鈷矽化物薄膜於矽晶上生長影響及在矽晶上矽化三銅之高溫氧化反應機制之研究 Effects of Surface Pre-Cleaning and High Temperature Deposition on the Formation of Cobalt Silicides and Growth Kinetics of SiO2 on (001) Si Catalyzed by Cu3Si at Elevated Temperatures |
| 指導教授： |
陳力俊
Lih-Juann Chen 吳文發 Wen-Fa Wu |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2000 |
| 畢業學年度： | 88 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 138 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
| 分享至: |
| 查詢本校圖書館目錄 查詢臺灣博碩士論文知識加值系統 勘誤回報 |
全文公開日期 本全文未授權公開 (校內網路)全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)