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| 研究生： |
蔡尚哲 Tsai, Shang-Che |
|---|---|
| 論文名稱： |
發展以電漿輔助化學氣相沉積法與氯化物前驅物鍍鍺錫薄膜製作短波長紅外光波段光偵測器之技術 Development of Techniques for Fabrication of Short-Wave Infrared Detectors Based on GeSn Thin Films Deposited by Using PECVD and Chloride Precursors |
| 指導教授： |
林明緯
Lin, Ming-Wei 陳賜原 Chen, Szu-yuan |
| 口試委員: |
王偉華
Wang, Wei-Hua 趙得勝 Chao, Der-Sheng |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 95 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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全文公開日期 2029/01/25 (校內網路)全文公開日期 2029/01/25 (校外網路)