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| 研究生： |
陳建良 Chen, Chien-Liang |
|---|---|
| 論文名稱： |
高介電常數介電層金屬閘極元件電性與可靠度特性研究 An Electrical and Reliability Study of High-k Gate Dielectric/ Metal Gate Device for nano-scale CMOS technologies |
| 指導教授： |
金雅琴
King, Ya-Chin |
| 口試委員: |
簡昭欣
Chien, Chao-Hsin 蘇彬 Su, Pin 崔秉鉞 Tsui, Bing-Yue 林泓均 Lin, Hong-Chin 金雅琴 King, Ya-Chin |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電子工程研究所 Institute of Electronics Engineering |
| 論文出版年： | 2012 |
| 畢業學年度： | 100 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 156 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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